TOYO LBT – bàn trượt đệm khí, động cơ tuyến tính

TOYO LBT – bàn trượt đệm khí động cơ tuyến tính, lặp lại ±0,2 μm, tải 25–50 kg, 2000 mm/s, hành trình 500 mm. MES HI-TECH báo giá.

Mô tả

TOYO LBT – bàn trượt đệm khí, động cơ tuyến tính

TOYO LBT là bàn trượt đệm khí dẫn động bằng động cơ tuyến tính, bàn máy nổi trên màng khí nén nên không có chi tiết tiếp xúc trong cụm dẫn hướng và không cần bôi trơn.

Tổng quan sản phẩm

TOYO LBT là dòng bàn trượt chính xác dùng đệm khí (air bearing) kết hợp động cơ tuyến tính. Thay cho ổ bi hay ray dẫn hướng cơ khí, bàn máy được nâng lên và giữ trên một màng khí nén mỏng, áp suất cấp 0,5–0,6 MPa. Vì không có bề mặt nào chạm nhau trong cụm dẫn hướng nên cụm này gần như không mòn, không sinh hạt và không cần mỡ bôi trơn — hãng gọi đây là kiến trúc zero-wear. Thân đế bằng đá granite giữ ổn định kích thước theo nhiệt độ, điều kiện bắt buộc khi làm việc ở mức dưới micromet. Bảng thông số bên dưới cho hai cấu hình: bàn 332 × 95 mm chịu tải 25 kg với lực đẩy đỉnh 521 N, và bàn 397 × 95 mm chịu tải 50 kg với 695 N. Cả hai cùng hành trình lớn nhất 500 mm, tốc độ lớn nhất 2000 mm/s và gia tốc lớn nhất 2 G. Độ lặp lại ±0,2 μm cùng độ thẳng 0,5 μm trên 300 mm là hai con số đáng chú ý nhất với người mua: chúng quyết định việc cụm quang học hay đầu dò gắn trên bàn có giữ được tiêu điểm trong suốt hành trình hay không. Gia tốc 2 G cho biết bàn đạt tốc độ 2000 mm/s chỉ sau khoảng một trăm milimet đầu hành trình, nên trong hành trình 500 mm vẫn còn đủ đoạn chạy đều để quét ảnh. Hãng công bố độ nhấp nhô tốc độ 0,1% và mức sạch đạt ISO Class 1.

Tính năng nổi bật

Dẫn hướng đệm khí không tiếp xúc — bàn nổi trên màng khí ở áp suất 0,5–0,6 MPa, không ma sát tĩnh nên không có hiện tượng giật khi khởi hành ở tốc độ rất chậm.
Độ lặp lại ±0,2 μm — mức dưới micromet nhờ thước quang phản hồi trực tiếp, đủ cho soi khuyết tật wafer và định vị quang khắc.
Độ thẳng 0,5 μm trên 300 mm — sai lệch nhỏ như vậy giúp cụm quang học gắn trên bàn giữ nguyên tiêu điểm suốt hành trình mà không phải bù bằng phần mềm.
Tốc độ 2000 mm/s, gia tốc 2 G — bàn lên tốc độ tối đa trong đoạn ngắn, để lại phần lớn hành trình 500 mm cho đoạn chạy đều dùng để quét.
Hai cấu hình tải 25 kg và 50 kg — lực đẩy đỉnh tương ứng 521 N và 695 N; chọn theo khối lượng cụm quang học hoặc đồ gá đặt lên bàn.
Sạch ISO Class 1, không bôi trơn — không mỡ, không hạt mài mòn, dùng được ngay trong phòng sạch bán dẫn mà không cần che chắn thêm.

TOYO LBT-210 – bàn 332 × 95 mm, tải 25 kg

Thông số kỹ thuật TOYO LBT

Thông số	Giá trị
Product Size (W x H mm)	332 x 95 · 397 x 95
Repeatability (μm)	±0.2
Maximum Payload (kg)	25 · 50
Peak Thrust (N)	521 · 695
Straightness (μm/300mm)	0.5
Maximum Travel (mm)	500 · 500
Maximum Speed (mm/s)	2000
Maximum Acceleration (G)	2

Các mã trong dòng TOYO LBT

Mã sản phẩm	Khác biệt
LBT-210	Bàn 332 × 95 mm, tải 25 kg, lực đẩy đỉnh 521 N
LBT-275	Bàn 397 × 95 mm, tải 50 kg, lực đẩy đỉnh 695 N

Catalog PDF

📄 Xem / Tải Catalog PDF

Hướng dẫn chọn cấu hình (Selection Guide)

Ba mốc chọn cấu hình khi đặt TOYO LBT, đối chiếu trực tiếp với bảng thông số bên dưới.

Yêu cầu ứng dụng	Khuyến nghị cấu hình	Engineering Reason
Cụm quang học nhẹ, ưu tiên bàn gọn	LBT-210	Bàn 332 × 95 mm chịu tải 25 kg với lực đẩy đỉnh 521 N, chiếm ít diện tích trong buồng sạch mà vẫn giữ nguyên độ lặp lại ±0,2 μm.
Đồ gá nặng, nhiều cụm đo gắn trên bàn	LBT-275	Tải 50 kg và lực đẩy đỉnh 695 N cho biên an toàn khi phải mang cả camera, chiếu sáng và đồ gá phôi cùng lúc.
Cần quét đều trên đoạn dài nhất có thể	LBT-210 hoặc LBT-275, hành trình 500 mm	Cả hai cùng hành trình lớn nhất 500 mm; gia tốc 2 G rút ngắn quãng tăng tốc nên phần chạy đều chiếm phần lớn hành trình.

Ứng dụng thực tế

Soi khuyết tật và quang khắc wafer bán dẫn: độ lặp lại ±0,2 μm cùng mức sạch ISO Class 1 cho phép đặt bàn trực tiếp trong buồng sạch mà không sinh hạt.
Quét quang học tấm nền màn hình phẳng: hành trình 500 mm ở tốc độ 2000 mm/s với độ nhấp nhô tốc độ 0,1% giữ ảnh quét không bị vệt sáng tối theo chu kỳ.
Gia công vi mô bằng laser cho dụng cụ y tế: dẫn hướng không tiếp xúc loại bỏ ma sát tĩnh, nên đường cắt ở tốc độ rất chậm vẫn liên tục, không giật cục.
Trạm hiệu chuẩn và đo lường cao cấp: đế granite cùng độ thẳng 0,5 μm/300 mm giữ chuẩn hình học ổn định theo nhiệt độ phòng đo.

Câu hỏi thường gặp (FAQ)

TOYO LBT có mấy cấu hình và khác nhau ra sao?
Hai cấu hình. LBT-210 bàn 332 × 95 mm, tải 25 kg, lực đẩy đỉnh 521 N. LBT-275 bàn 397 × 95 mm, tải 50 kg, lực đẩy đỉnh 695 N. Cả hai cùng hành trình 500 mm và tốc độ 2000 mm/s.

Bàn trượt đệm khí cần cấp khí thế nào?
Hãng công bố áp suất khí cấp 0,5–0,6 MPa. Khí phải khô và lọc sạch vì màng khí là chi tiết chịu tải; mất khí thì bàn hạ xuống mặt dẫn hướng, nên hệ thống khí cần được giám sát áp suất.

Vì sao TOYO LBT không cần bảo dưỡng bôi trơn?
Cụm dẫn hướng không có bề mặt nào tiếp xúc nhau, tải được đỡ hoàn toàn bằng màng khí. Không tiếp xúc thì không mòn và không cần mỡ, nên cũng không sinh hạt — đây là điều kiện để đạt mức sạch ISO Class 1.

Độ chính xác của LBT là bao nhiêu?
Độ lặp lại ±0,2 μm và độ thẳng 0,5 μm trên 300 mm hành trình. Muốn giữ được các con số này thì nền đặt máy phải chống rung đạt yêu cầu, vì bàn đệm khí truyền rung nền lên phôi gần như không suy giảm.

Gia tốc 2 G có ý nghĩa gì khi tính nhịp máy?
Với gia tốc 2 G, bàn đạt 2000 mm/s sau quãng tăng tốc chỉ khoảng một trăm milimet, nên trong hành trình 500 mm vẫn còn phần lớn quãng đường chạy ở tốc độ đều — đúng đoạn dùng để quét ảnh hoặc cắt laser.

Mua sản phẩm TOYO chính hãng ở đâu tại Việt Nam?
Liên hệ CÔNG TY TNHH MES HI-TECH – đại lý chính thức của TOYO: hotline +84.981.016.301, email info@meshitech.com để được tư vấn chọn model và báo giá.