TOYO GLCH – trục trượt vít me phòng sạch ISO Class 4, ba cỡ thân 53–120 mm

TOYO GLCH: trục trượt vít me phòng sạch ISO Class 4, ba cỡ 53/80/120 mm, lặp lại ±5 µm, tốc độ tới 1440 mm/s, hành trình tới 1250 mm.

Mô tả

TOYO GLCH – trục trượt vít me phòng sạch ISO Class 4, ba cỡ thân 53–120 mm

TOYO GLCH – trục trượt điện thân thấp dùng cho phòng sạch của Toyo Automation

TOYO GLCH là dòng trục trượt điện dùng cho phòng sạch của Toyo Automation: thân nhôm thấp tích hợp sẵn ổ bi dẫn hướng, dẫn động vít me bi, thêm cổng hút chân không và dải thép không gỉ che kín để giữ hạt mài mòn lại bên trong thân. Hãng công bố mức sạch ISO Class 4, độ lặp lại ±5 µm và ba cỡ thân GLCH5, GLCH8, GLCH12.

Tổng quan sản phẩm

Về cơ khí, TOYO GLCH là bản phòng sạch của dòng thân thấp GLTH: cùng vít me bi và ổ bi dẫn hướng nằm luôn trong thân nhôm ép, nhưng bổ sung ba thứ — cổng hút chân không để rút hạt sinh ra từ chuyển động, dải thép không gỉ làm kín khe bàn trượt và mỡ bôi trơn ít bay hơi nạp sẵn tại nhà máy. Nhờ vậy hãng công bố cụm đạt ISO Class 4, mức thường bị đòi ở khu xử lý wafer, kiểm tra tấm nền FPD và thiết bị y tế – dược. Dòng có ba cỡ thân: GLCH5 rộng 53 mm cao 46 mm, GLCH8 rộng 80 mm cao 63 mm và GLCH12 rộng 120 mm cao 76 mm; hai cỡ nhỏ có thêm bản hai bàn trượt GLCH5D, GLCH8D cho tải đặt lệch tâm. Hành trình tối đa là 1000 mm với GLCH5 (850 mm ở bản D), 1250 mm với GLCH8 (1050 mm ở bản D) và 1250 mm với GLCH12; tốc độ tối đa 1200 mm/s ở GLCH5, 1440 mm/s ở GLCH8 và GLCH12; gia tốc 1 G; nhiệt độ làm việc 0–40 °C. Tải trọng và lực đẩy hãng còn ghi “coming soon”, nên hai số đó phải hỏi lại theo cấu hình cụ thể. Chỗ dễ chọn sai là tốc độ tới hạn. Cùng bước vít L20, GLCH5 chạy 1200 mm/s ở hành trình ngắn nhất nhưng chỉ còn 367 mm/s ở đầu dài nhất, vì vít me càng dài càng dễ cộng hưởng. Muốn giữ tốc độ khi hành trình lớn thì phải tăng bước vít hoặc lên cỡ thân lớn hơn: GLCH12-L24 vẫn còn 440 mm/s ở hành trình dài nhất. Khối lượng cụm cũng đi theo hành trình — GLCH5 từ 1,1 đến 3,5 kg, GLCH8 từ 2,35 đến 9,17 kg, GLCH12 từ 5,35 đến 13,4 kg — con số cần biết khi trục này lại được gá lên một trục khác.

Tính năng nổi bật

Cổng hút chân không tích hợp — hãng bố trí cổng hút ngay trên thân để rút hạt sinh ra từ vít me và ổ bi ra khỏi cụm; đây chính là thứ giúp GLCH giữ mức ISO Class 4 mà bản thường không có.
Thân thấp, ba cỡ 53 / 80 / 120 mm — GLCH5 chỉ cao 46 mm, GLCH8 cao 63 mm, GLCH12 cao 76 mm, nên trục lọt được dưới mặt bàn máy hoặc trong ngăn thiết bị mà không phải nâng cả khung.
Độ lặp lại ±5 µm trên cả ba cỡ — đủ cho gắp – đặt wafer và cấp mẫu xét nghiệm; đây là sai số về lại vị trí cũ, không phải sai số tuyệt đối, nên vẫn cần chuẩn gốc cho từng máy.
Tốc độ tới 1440 mm/s, hành trình tới 1250 mm — GLCH8 và GLCH12 đạt 1440 mm/s, GLCH5 đạt 1200 mm/s; bản hai bàn trượt đổi bớt hành trình lấy độ cứng, còn 850 mm ở GLCH5D và 1050 mm ở GLCH8D.
Tốc độ tới hạn giảm theo chiều dài vít — GLCH5-L20 đi từ 1200 mm/s xuống 367 mm/s, GLCH8-L24 từ 1440 mm/s xuống 400 mm/s khi kéo dài hành trình; phải tra đúng ô hành trình mình cần trước khi chốt chu kỳ máy.
Bản hai bàn trượt GLCH5D / GLCH8D — hai bàn nối tiếp trên cùng một thân, khối lượng khởi điểm 1,61 kg và 3,93 kg, dùng khi đầu công tác dài hoặc tải đặt lệch tâm sinh mô men lật.

Cổng hút chân không trên thân TOYO GLCH dùng để rút hạt mài mòn ra khỏi cụm

Thông số kỹ thuật TOYO GLCH

Thông số	Giá trị
GLCH5 Weight (kg)	1.1 · 1.23 · 1.36 · 1.48 · 1.61 · 1.73 · 1.86 · 1.99 · 2.11 · 2.24 · 2.37 · 2.49 · 2.62 · 2.75 · 2.87 · 3 · 3.12 · 3.25 · 3.38 · 3.5 · Not Available
GLCH5D Weight (kg)	1.61 · 1.74 · 1.86 · 1.99 · 2.12 · 2.24 · 2.37 · 2.50 · 2.62 · 2.75 · 2.88 · 3.00 · 3.13 · 3.25 · 3.38 · 3.51 · 3.63 · Not Available
GLCH5-L2 Critical Speed (mm/s)	120 · 110 · 90 · 80 · 70 · 63 · 53 · 50 · 43 · 40 · 37 · Not Available
GLCH5-L6 Critical Speed (mm/s)	360 · 330 · 270 · 240 · 210 · 190 · 160 · 150 · 130 · 120 · 110 · Not Available
GLCH5-L12 Critical Speed (mm/s)	720 · 660 · 540 · 480 · 420 · 380 · 320 · 300 · 260 · 240 · 220 · Not Available
GLCH5-L20 Critical Speed (mm/s)	1200 · 1100 · 900 · 800 · 700 · 630 · 533 · 500 · 430 · 400 · 367 · Not Available
GLCH8 Weight (kg)	2.35 · 2.65 · 2.94 · 3.24 · 3.53 · 3.83 · 4.13 · 4.42 · 4.72 · 5.01 · 5.31 · 5.61 · 5.91 · 6.2 · 6.5 · 6.79 · 7.09 · 7.39 · 7.68 · 7.98 · 8.28 · 8.57 · 8.87 · 9.17 · 9.46
GLCH8D Weight (kg)	3.93 · 4.23 · 4.53 · 4.82 · 5.12 · 5.41 · 5.71 · 6.01 · 6.31 · 6.6 · 6.9 · 7.19 · 7.49 · 7.79 · 8.08 · 8.38 · 8.68 · 8.97 · 9.27 · 9.57 · 9.86 · Not Available
GLCH8-L6 Critical Speed (mm/s)	360 · 350 · 310 · 270 · 240 · 210 · 190 · 170 · 160 · 140 · 130 · 120 · 110 · 100 · 90
GLCH8-L12 Critical Speed (mm/s)	720 · 700 · 620 · 540 · 480 · 420 · 380 · 340 · 320 · 280 · 260 · 240 · 220 · 200 · 180
GLCH8-L24 Critical Speed (mm/s)	1440 · 1400 · 1240 · 1080 · 960 · 840 · 760 · 680 · 640 · 560 · 520 · 480 · 440 · 400 · 360
GLCH12 Weight (kg)	5.35 · 5.7 · 6.05 · 6.4 · 6.75 · 7.1 · 7.45 · 7.8 · 8.15 · 8.5 · 8.85 · 9.2 · 9.55 · 9.9 · 10.25 · 10.6 · 10.95 · 11.3 · 11.65 · 12 · 12.35 · 12.7 · 13.05 · 13.4 · 13.75
GLCH12-L6 Critical Speed (mm/s)	360 · 350 · 310 · 270 · 240 · 210 · 190 · 170 · 160 · 140 · 130 · 120 · 110 · 100
GLCH12-L12 Critical Speed (mm/s)	720 · 700 · 620 · 540 · 480 · 420 · 380 · 340 · 320 · 280 · 260 · 240 · 220 · 200
GLCH12-L24 Critical Speed (mm/s)	1440 · 1400 · 1240 · 1080 · 960 · 840 · 760 · 680 · 640 · 560 · 520 · 480 · 440 · 400

Các mã trong dòng TOYO GLCH

Mã sản phẩm	Khác biệt
GLCH5	Thân 53 x 46 mm · hành trình tới 1000 mm · tốc độ tới 1200 mm/s · 1,1–3,5 kg
GLCH5D	Bản hai bàn trượt của GLCH5 · hành trình tới 850 mm · từ 1,61 kg
GLCH8	Thân 80 x 63 mm · hành trình tới 1250 mm · tốc độ tới 1440 mm/s · 2,35–9,17 kg
GLCH8D	Bản hai bàn trượt của GLCH8 · hành trình tới 1050 mm · từ 3,93 kg
GLCH12	Thân 120 x 76 mm · hành trình tới 1250 mm · tốc độ tới 1440 mm/s · 5,35–13,4 kg

Catalog PDF

📄 Xem / Tải Catalog PDF

Ứng dụng thực tế

Chuyển và định vị wafer trong thiết bị bán dẫn: mức sạch ISO Class 4 cùng cổng hút chân không giúp cụm không nhả hạt vào buồng, còn độ lặp lại ±5 µm đủ để đưa tay gắp về đúng khe cassette sau hàng vạn chu kỳ.
Kiểm tra và xử lý tấm nền FPD: hành trình 1250 mm của GLCH8 và GLCH12 phủ hết bề rộng bàn soi, tốc độ 1440 mm/s giữ được nhịp quét mà không phải ghép hai trục nối tiếp.
Thiết bị y tế và dược: thân cao 46 mm của GLCH5 lọt vào khoang máy xét nghiệm chật, mỡ ít bay hơi nạp sẵn tránh nhiễm bẩn mẫu, tốc độ 1200 mm/s đủ cho thao tác hút – nhả đầu côn.
Trục Y hoặc trục Z trong cụm nhiều trục phòng sạch: bản GLCH5D và GLCH8D chịu mô men lật tốt hơn nên gá được đầu công tác dài, đổi lại hành trình rút còn 850 mm và 1050 mm.

Câu hỏi thường gặp (FAQ)

TOYO GLCH khác GLTH ở chỗ nào?
Cùng nền cơ khí thân thấp và cùng dẫn động vít me bi, nhưng GLCH là bản phòng sạch: có cổng hút chân không rút hạt mài mòn, dải thép không gỉ làm kín và mỡ ít bay hơi, hãng công bố đạt ISO Class 4. Ba cỡ thân 53 x 46, 80 x 63 và 120 x 76 mm trùng với GLTH5, GLTH8 và GLTH12.

Dòng GLCH gồm những mã nào?
Năm mã: GLCH5, GLCH5D, GLCH8, GLCH8D và GLCH12. Hậu tố D là bản hai bàn trượt nối tiếp, chịu mô men lật tốt hơn nhưng hành trình tối đa rút xuống 850 mm (GLCH5D) và 1050 mm (GLCH8D).

Vì sao ghi tốc độ tối đa 1440 mm/s mà máy chạy chậm hơn?
Vì tốc độ thực bị chặn bởi tốc độ tới hạn của vít me theo chiều dài hành trình. GLCH8-L24 cho 1440 mm/s ở hành trình ngắn nhất nhưng chỉ 400 mm/s ở hành trình dài nhất; GLCH5-L20 đi từ 1200 mm/s xuống 367 mm/s. Hãy tra đúng ô hành trình định dùng trước khi tính chu kỳ.

Tải trọng tối đa của TOYO GLCH là bao nhiêu?
Bảng của hãng hiện ghi tải trọng và lực đẩy là “coming soon”, chưa công bố số. Cơ sở chọn hiện có là khối lượng cụm (GLCH5 1,1–3,5 kg; GLCH8 2,35–9,17 kg; GLCH12 5,35–13,4 kg), độ lặp lại ±5 µm, gia tốc 1 G và nhiệt độ làm việc 0–40 °C; tải cụ thể cần xác nhận theo hướng lắp và bước vít.

Mua TOYO GLCH chính hãng ở đâu tại Việt Nam?
Liên hệ CÔNG TY TNHH MES HI-TECH – đại lý chính thức của TOYO tại Việt Nam: hotline +84.981.016.301, email info@meshitech.com. Đội kỹ thuật hỗ trợ chọn đúng cỡ, hành trình và bộ điều khiển đi kèm trước khi đặt hàng.