TOYO ECB – actuator đai răng phòng sạch Class 10, tốc độ 2.400 mm/s

TOYO ECB: actuator đai răng phòng sạch Class 10, ECB14/17/22, tốc độ 2.400 mm/s, hành trình tới 4.050 mm, lặp lại ±40 µm. MES HI-TECH báo giá.

Mô tả

TOYO ECB – actuator đai răng phòng sạch Class 10, tốc độ 2.400 mm/s

TOYO ECB là dòng cơ cấu chấp hành tuyến tính dẫn động bằng đai răng, làm riêng cho môi trường phòng sạch Class 10/100. Dòng có ba cỡ ECB14, ECB17 và ECB22, hãng công bố đạt ISO Class 4 (Class 10) nhờ cổng khí hút bụi tích hợp ngay trên thân.

Tổng quan sản phẩm

Bài toán của một actuator đặt trong phòng sạch không phải là chạy nhanh mà là chạy nhanh nhưng không phát tán hạt. TOYO ECB giải bằng ba việc: bịt kín đường sinh hạt, hút hạt ra trước khi nó thoát vào phòng, và dùng vòng bi cùng mỡ bôi trơn loại ít bay hơi. Hãng mô tả đây là bản phòng sạch của dòng ETB, khác ở chỗ có thêm cổng khí chân không hoặc áp dương trên thân. Cổng khí này là chi tiết đáng chú ý nhất: nối một đường hút nhẹ vào thân, bụi mài sinh ra từ đai và ổ trượt bị kéo ngược ra ngoài thay vì rơi xuống sản phẩm. Đó là điều kiện để giữ mức ISO Class 4 mà hãng công bố. Phần dẫn hướng dùng hai ray vuông chạy song song, cứng hơn hẳn kiểu một ray, nên tấm trượt ít lật khi mang tấm kính hay khay wafer khổ lớn. Ba cỡ chia theo tiết diện thân: ECB14 là 135 x 93 mm, ECB17 là 170 x 108 mm và ECB22 là 220 x 134 mm, tải tối đa lần lượt 11.991 N, 18.755 N và 25.876 N theo cách công bố của hãng. Hành trình tối đa 3.050 mm (ECB14), 4.050 mm (ECB17) và 3.400 mm (ECB22) — đúng tầm một trục vận chuyển chạy dọc buồng sạch chứ không phải trục gắp – đặt cục bộ. Tốc độ 2.400 mm/s giữ chung cho cả ba cỡ, gia tốc tối đa 1 G. Đổi lại cho tốc độ và hành trình dài là độ lặp lại ±40 µm, tức ±0,04 mm — mức thường thấy của truyền động đai, đủ cho việc chuyển giao giữa các trạm nhưng không thay được trục vít bi ở khâu định vị tinh. Cột lực đẩy tối đa hiện hãng vẫn ghi Coming Soon, cần hỏi lại khi tính cấu hình tải đứng.

Tính năng nổi bật

Cổng khí hút bụi tích hợp — nối đường chân không nhẹ vào thân để kéo hạt mài ra trước khi thoát vào phòng; hãng công bố đây là cơ sở để đạt ISO Class 4 (Class 10).
Hai ray vuông song song — cứng vững và tải cao hơn kiểu một ray, giữ tấm trượt không lật khi mang tấm kính khổ lớn hoặc khay wafer.
Vòng bi và mỡ chuyên phòng sạch — hãng lắp sẵn mỡ ít bay hơi cùng vòng bi có che chắn, hướng tới độ bền trong môi trường có hút chân không hỗ trợ.
Tốc độ 2.400 mm/s — giữ chung ở cả ba cỡ, cho phép rút thời gian chuyển giao trên các tuyến dài trong buồng sạch.
Hành trình tới 4.050 mm — ECB17 cho hành trình dài nhất dòng, đủ chạy dọc một dãy trạm mà không phải ghép nối hai trục.
Ba nấc tải 11.991 – 25.876 N — chênh hơn hai lần giữa ECB14 và ECB22, chọn theo khối lượng và kích thước tấm mang chứ không chọn theo hành trình.

TOYO ECB – actuator đai răng phòng sạch, cỡ ECB14

Thông số kỹ thuật TOYO ECB

Thông số	ECB14	ECB17	ECB22
Product Size (W x H mm)	135 x 93	170 x 108	220 x 134
Repeatability (µm)	±40	±40	±40
Maximum Payload (N)	11,991	18,755	25,876
Maximum Thrust (N)	Coming Soon	Coming Soon	Coming Soon
Maximum Travel (mm)	3,050	4,050	3,400
Maximum Speed (mm/s)	2,400	2,400	2,400
Maximum Acceleration (G)	1	1	1

Các mã trong dòng TOYO ECB

Mã sản phẩm	Khác biệt
ECB14	Thân 135 x 93 mm — tải 11.991 N, hành trình tối đa 3.050 mm
ECB17	Thân 170 x 108 mm — tải 18.755 N, hành trình tối đa 4.050 mm
ECB22	Thân 220 x 134 mm — tải 25.876 N, hành trình tối đa 3.400 mm

Catalog PDF

📄 Xem / Tải Catalog PDF

Hướng dẫn chọn cấu hình (Selection Guide)

Ba cỡ TOYO ECB cùng tốc độ và cùng độ lặp lại, khác nhau ở tiết diện thân, tải và hành trình.

Yêu cầu ứng dụng	Khuyến nghị cấu hình	Engineering Reason
Tuyến ngắn dưới 3 m, tấm mang nhẹ	ECB14	Thân 135 x 93 mm nhỏ nhất dòng, tải 11.991 N và hành trình 3.050 mm đủ cho tuyến chuyển giao cục bộ, chiếm ít chỗ trong buồng sạch.
Cần hành trình dài nhất, chạy dọc dãy trạm	ECB17	Hành trình 4.050 mm là mức dài nhất dòng, tải 18.755 N, tránh phải ghép hai trục và thêm mối nối sinh hạt.
Mang tấm kính hoặc khay khổ lớn	ECB22	Tải 25.876 N cao nhất dòng cùng thân 220 x 134 mm cho bề mặt lắp rộng, hai ray vuông giữ tấm mang không lật.

Ứng dụng thực tế

Sản xuất bán dẫn: dùng TOYO ECB chuyển wafer và đế giữa các trạm trong vùng sạch Class 10, tận dụng tốc độ 2.400 mm/s và cổng hút bụi để giữ mức phát tán hạt thấp.
Đóng gói dược phẩm: vận chuyển thiết bị y tế và bộ kit chẩn đoán, chạy êm trên hành trình dài tới 4.050 mm của ECB17 mà không cần khớp nối giữa chừng.
Lắp ráp màn hình phẳng: mang tấm kính khổ lớn, nơi hai ray vuông của ECB22 với tải 25.876 N giữ tấm mang khỏi lật và rung.
Tuyến chuyển giao trong buồng sạch: dùng TOYO ECB làm trục chạy dài nối các máy, độ lặp lại ±40 µm đủ cho việc trao nhận phôi giữa trạm với trạm.

Câu hỏi thường gặp (FAQ)

TOYO ECB đạt cấp phòng sạch nào?
Hãng công bố đạt ISO Class 4, tương đương Class 10, và mô tả dòng này chạy trong môi trường Class 10/100. Điều kiện đi kèm là phải nối đường khí vào cổng hút tích hợp trên thân để kéo hạt mài ra ngoài.

Chọn ECB14, ECB17 hay ECB22?
ECB14 thân 135 x 93 mm, tải 11.991 N, hành trình 3.050 mm. ECB17 thân 170 x 108 mm, tải 18.755 N, hành trình 4.050 mm — dài nhất dòng. ECB22 thân 220 x 134 mm, tải 25.876 N, hành trình 3.400 mm. Cả ba cùng tốc độ 2.400 mm/s.

Vì sao độ lặp lại chỉ ±40 µm?
Vì đây là truyền động đai răng, đánh đổi độ chính xác lấy tốc độ 2.400 mm/s và hành trình vài mét. ±40 µm tương đương ±0,04 mm, đủ cho khâu vận chuyển và trao nhận phôi; cần định vị tinh hơn thì phải chuyển sang dòng trục vít bi.

Lực đẩy tối đa của dòng là bao nhiêu?
Bảng thông số của hãng hiện vẫn ghi Coming Soon ở cột lực đẩy tối đa cho cả ba cỡ, nên chưa có số chính thức. Khi tính cấu hình lắp đứng hoặc lắp nghiêng, nên gửi sơ đồ tải để MES HI-TECH hỏi lại hãng trước khi chốt.

Số tải công bố bằng Newton hiểu thế nào?
Hãng ghi tải tối đa theo Newton — 11.991 N, 18.755 N, 25.876 N — và tính theo tuổi thọ L10. Nghĩa là con số này gắn với một mức tuổi thọ danh định, chạy chu kỳ dày hoặc tải sát ngưỡng thì cần tính lại theo điều kiện thực tế.

Mua sản phẩm TOYO chính hãng ở đâu tại Việt Nam?
Liên hệ CÔNG TY TNHH MES HI-TECH – đại lý chính thức của TOYO: hotline +84.981.016.301, email info@meshitech.com để được tư vấn chọn model và báo giá.